Semishare SX-12(SX Series)是一款集成了电学、光波、微波、等测试功能的半自动探针台,专业应对 12寸Wafer (向下兼容8寸,6寸)Si,GaN,SiC等各类材质的先进芯片的性能测试。可对晶圆、MEMS、生物结 构、光电器件以及其他集成电路、LED、LCD、太阳能电池等进行7*24全天候在片探测,并可加载温控系统,满足 客户于高低温环境下的各种性能测试要求。 Semishare SX-12(SX系列)半自动高低温探针台是在-60-200℃环境下通过探针或探针卡点测样品pad电 极,通过连接测试仪器加载和测量电学信号,并在软件端对电学信号进行控制、判断与存储,并将判断信息反馈 至喷墨系统,对次品芯片(die)进行打点标记,其中,标记方式可根据客户要求设定。在一个芯片(die)测试 完成后,通过软件控制系统将chuck机械平台移动至下一个待测芯片(die),依次进行循环测试。
设备⽤途&功能 SX-12 4 SX-12 设备可配备相应的仪器仪表,对各类元器件、Wafer等进行I-V、C-V、光信号、RF、1/f噪声等进行特性分 析,是一款综合型多功能半自动探针台,并可根据需要,进行客制化技术指标设定,匹配客户通用设备要求。