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氩气作为光谱仪重要的分析条件，对检测正常使用，结果准确有至关重要的作用，一般要求99.999%纯度的氩气，但在现实中，大多氩气厂家都没有检测这么高纯度的设备，全凭经验，氩气厂家参差不齐，标注为5个9的氩气，实际使用可能达不到，我们自己也只能靠检测过程的各种特征现象分析氩气是否纯度足够。
1.普通氩气纯度一般不会高于四个9，氩气的主要功能是对钨电极保护作用，一般光谱激发时由于瞬间电压高、电流大、激发温度都很高，如果氩气纯度不够，对钨电极就会损伤，而且一些高溶点的物质如硅等就激发不充分，在金属表面就会有很多很多白点，造成检测数据不准。
2.普氩还是不建议使用，几个月后就会激发不了，但如果氩气净化器是新的，还能多撑一段时间，不过普氩里杂质较多，对光路尤其是透镜的损坏较大。
3.氩气不纯，影响大的是透镜，导致透镜污染，影响直读光谱仪分析谱线；再者激发时声音表现无力，激发点不充分燃烧，直接影响分析数据，所得数据偏离实际值，分析不准确。
4.高纯氩作为火花室保护气的主体，其纯度高才会形成需要的 聚能放电 否则就是所谓的 扩散放电 引起不良的激发。样品的组织结构越复杂，对氩气的纯度要求就越严格。
5.直读光谱仪使用的氩气纯度要求 99.996%，其纯度不够的氩气将导致以下后果：
（1）校正系数超出要求范围，标准化系数偏高。
（2）激发光源不激发及跳闸。
（3）激发时扩散放电，激发点呈白色（白点），强度降低，样品表面无侵蚀，分析数据不准确。
（4）直读光谱仪分析数据不稳定，特别是分析波长较低的元素如：C、P、S等，还有一些高合金铸件、铸铝、铸铁、纯金属等。
