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磁控溅射镀膜机 NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统
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  • 起订量:1 台
  • 可售数量: 999 台
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2022-12-01 10:39

产地:上海 | 归属行业:镀膜机

品牌:那诺-马斯特/Nano-Master

有效期至:长期有效

联系人: 张经理 (女士) 

手机:17317363700

联系地址:上海市徐汇区虹梅南路126弄翡翠别墅23号

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  • 产地:美国
  • 供货总量:999 台
  • 发货期限:自买家付款之日起 120 天内发货
  • 所在地:上海

NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统概述:带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,可达到6"旋转平台,支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。

NSC-3500(A)带有14”立方形不锈钢腔体,3个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。




NSC-3500(A)全自动磁控溅射系统产品特点:

  • 不锈钢腔体

  • 260l/s或350l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射频电源以及1KW DC直流电源

  • 晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 带观察视窗的腔门易于上下载片

  • 基于LabView软件的PC计算机控制

  • 带密码保护功能的多级访问控制

  • 完全的安全联锁功能

  • 预真空锁以及自动晶圆片上/下载片


选配项:

  • RF、DC溅射

  • 热蒸镀能力

  • RF或DC偏压(1000V)

  • 样品台可加热到700°C

  • 膜厚监测仪

  • 基片的RF射频等离子清洗


应用:

  • 晶圆片、陶瓷片、玻璃白片以及磁头等的金属以及介质涂覆

  • 光学以及ITO涂覆

  • 带高温样品台和脉冲DC电源的硬涂覆

  • 带RF射频等离子放电的反应溅射



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