X射线荧光光谱(XRF)分析法是对各种各样材料进行元素测定的一种现代化的通用分析方法。不管是固体样品、粉末样品、还是液体样品,位于元素周期表上从4号元素铍(Be)到92号元素铀(U)之间的所有元素都可以进行精确的定性、定量及无标样分析,同时还可对薄膜的厚度进行测定。根据不同应用要求,其分析浓度范围可从0.1ppm高至100%,而且即使高至100%的元素浓度也能直接进行测量而无须进行稀释,测量重现性优于±005%。XRF分析具有样品制备简单、测定元素范围广、测定精度高、重现性好、测量速度快、无环境污染等特点。
ICP光谱仪主要测量金属元素,测量范围一般在ppb到5%以下(AAS测量ppm到5%),对于高含量的元素,必须要稀释几千倍甚至上万倍才能测量,从而容易产生测量误差。ICP光谱仪不能直接分析固体样品及油类样品,必须将样品处理成液体。对于固体样品必须溶解,对于难溶元素必须使用各种不同的方法,比如用强酸强碱溶解,流程非常复杂,样品制备过程会对环境造成污染。ICP光谱仪对于非金属元素,如B、C、N、O、F、Si、P、S及卤素元素等不能测量。
以上是X射线荧光仪同ICP光谱仪简单的对比,两款仪器不能相互代替,是属于互补型仪器,每种仪器都有其存在的必要性,否则这种仪器已被淘汰。这里关键看应用,若每天必须分析液体样品,或者分析对象均是在ppb/ppm数量级,则选择ICP更适合,因为其价格相对便宜。而且在ppb/ppm级含量,其重复性要优于X荧光。若分析的对象有固体样品也有液体样品,分析的元素有金属元素也有非金属元素,并且ppb/ppm级含量的元素不是占主要地位,而且块状、粉末样品量很多,X射线荧光仪是最适合的。
另外直读光谱仪属于冶金行业的重要检测设备,能够对属于特定排号的金属样品予以准确分析。基本分析元素范围和检出线与XRF有很大相似性。简单说直读光谱仪是检测成型金属样品的首选设备,但直读光谱仪不能分析粉末样品,对于焊剂、炉渣等产品无法开展分析。同时由于其对排号属性的依赖,一般无法满足机械制造行业样品多样、成分复杂的检测要求。最后直读光谱仪相比XRF无法开展无标样分析,也就是无法对完全未知样品进行准确或近似定量。这也是大型机械生产研发企业选择XRF的一个重要原因。