精密的微细加工基于光切显微镜图像测量设计

精密的微细加工基于光切显微镜图像测量设计

基于光切法的图像测量系统设计
  手工读数测量在一定程度可以缓解生产加工中的急需，但先
进、精密的微细加工与比较原始的测量技术仍然极不协调。从微机
械、微细加工的要求和测量技术的发展趋势来看，在光切显微测量
基础上引入现代的图像测量技术将大大提高微机械几何测量的质
量和水平。

系统工作原理

  显微镜成像面上电荷耦合器件CCD(工业相机)的光学一机械混合
扫描先完成图像输入，接着再经放大和A／D转换后形成数字化信息，
存入计算机内存。信息即时分析后，

系统进行自动调焦。计算机上获取的理想图像数字化信息，用于对

测量数据的统计、分析及存储、输出等。

  显微放大物镜将图像成像在CCD光敏阵列上。CCD通过驱动电路
完成一次y向自扫描。在控制电路作用下，

视频信号处理电路将CCD输出信号进行滤波放大，用A／D电路
进行数字化；而后一行图像数据通过数据通道进入帧存储器。以上
操作与CCD自扫描同步进行，不受计算机CPU控制，因此速度会
很高。随后控制电路启动步进电机带动CCD移动到下一个采样位
置。CCD又进行y向自扫描，并重复以上过程，输入第二行数据，
直到整个画面输入完毕。经自动调焦并采集完理想的图像信息后，
控制电路启动步进电机反向旋转并复位。帧存储器中的数据经接
口可以以查询方式输入计算机内存。通过图像处理得到的所需图
形信息，显示在计算机屏幕上，可将其以数据文件的形式存入计算
机内存或外存，以便于后期统计分析和输出等应用。

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