粗糙度高度值与工业标准相比较用专业光学图像显微镜

粗糙度高度值与工业标准相比较用专业光学图像显微镜

  实验工作的目的是为了证明富里衰光学转换系统可用作表面粗糙
度测量的仪器，标准样板粗糙度高度值和转换图象之间在最小二乖
法意义上讲将呈现线性相关关系，为了解决由于各向异性的散射光
分布引起复杂性和提供有用的信号平均值，实验时使用一维富里光
学转换系统，

将精研或磨削金属样本直接放
在正方形孔的后面，并用在分光镜面反射光和光轴调整成同一直线
，表面上反射和散射的光线用一片转换透镜和一片圆柱艬来加收集
，圆柱透镜能绕光轴自由旋转，并在探测器平面上形成一维富里光
谱，如图中所示，调整这些透镜的位置使被照射的表面在轴的方向
上成象，而在方向上的空间频率分布不受圆柱透镜的影响，其它方
向的定位靠圆柱透镜的转动来实现，探测器的平面定位于转换透镜
后焦面和圆柱透镜的象平面的公共面上，在轴方向的图象尺寸是任
选的，并取决于转换一圆柱透镜组。

  将表面粗糙度刻线样板和 精密加工比较样板作为表面粗糙度的
典型试样，比较样板是其粗糙度高度值为已知的母板的镀镍复制品
，该粗糙度高度值与工业标准相一致，取样长度即与样板的联系的
粗糙度约为0.75mm（即保持主要显微结构的间隔变化，包括粗糙度
高度和相关长度因素在内）

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制http://www.sgaaa.com)