表面粗糙度的特征和测量电镀表面的显微形貌仪器

表面粗糙度的特征和测量电镀表面的显微形貌仪器

  表面粗糙度的特征和测量电镀表面的显微形貌以及原始基
体的物理和化学性质可以用各种各样的参数来确定，本文评论
了用于定量测量基体和电镀表面显微形貌的现代仪器，涉及到
与被测表面轮廓有关的一些统计参数，使表面轮廓有可能采用
高度分布，沿表面方向的周期性等简明的几何特征来定义。

  电镀对于高质量表面要求来说是历史电悠久最合适需要的
工艺方法，但这个行业在过去二十处中仍然较少注意定量的测
量表面粗糙度，这也许可用事实来说明，很久以前就研究了基
体和电镀的工艺方法，使其适应于当量已经提出的要求，这些
工艺要比现有的定量测量表面粗糙度的仪器商品国音频出现，
曾经研究过为达到表面粗糙度要求，按已确定的方式测量的扩
散这个工艺过程，而且即使已知表面轮廓形状，在提供表面粗
糙度的有效描述方面，长期以不存在困难，现有的计算机，专
用的微处理机。

  应用的表面粗糙度测量仪器，包括将要提供新研制的装置，
由些可能给出与电镀表面有关的仪器样品，同时亦包括广泛使
用的定性仪器，如扫描电镜和光学显微镜等，即使在单个表面
轮廓中亦存有大量数据，为了从这些数据中提取有用的信息，
必须用一些参数来表示，用他们可以描述被测表面的加工，从
已确认的大多数参数中，可用幅度敏感，波长敏感以及对幅度
和波长综合敏感的参数来讨论表面轮廓的特性，还包括讨论传
统参数，最后叙述用于测量表面粗糙度的触针——计算机系统
以及把它应用于镀镍表面的八个表征参数的计算方法。

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