具有显微结构的表面上的激光散射特征比较显微镜

具有显微结构的表面上的激光散射特征比较显微镜

  用比较仪比对法检定一等粗糙度样板，作为比较仪可用一等标准
轮廓仪。

  用直接测量法根据工作基准检定一等标准仪器，一等标准测量工
具是用来以直接测量法检定二等测量工具的。

  二等标准测量工具是用来检定三等标准测量工具的，也用来检定
高精度工作测量工具——轮廓仪。

  三等标准测量工具是用来检定工作测量工具的。
  由粗糙金属表面小区域上散射光的远场图象，可用相干光学系统
来获得，并且可用于机械加工表面粗糙度的定量测量，由于切割加
工速度的痕迹，其分布通常是各向异性，为解决这个问题，圆柱形
透镜的相对于光轴合适的角度方向上形成一维转换，并且，提供有
用的光谱平均方法，将高斯积分曲线对来自各个粗糙度取样上的实
验观察的散射光图象进行拟合，得到高斯宽度参数和粗糙度平均高
度之间的经验线性关系。

 利用在具有显微结构的表面上的激光散射特征来
探索高精度表面粗糙度的测量方法，粗糙度将改变反射光的特性，
这是由于引入了漫散射光叠加在镜面反射上引起的，由于从微观不
平的表面上散射的相干光波间存在相长干涉和相消干涉的波动，反
射光将呈现斑点状，最终将利用相干光处理系统对机加工金属试件
的表面质量检测研制聘种工具，实际应用要求能快速地在大面积上
和在车间环境中进行测量。

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