样品断口截面测量电子显微镜的应用类型技术简介

样品断口截面测量电子显微镜的应用类型技术简介

在完成了一个截面的测量之后，可用量块和h值控制截面位
置，完成其他截面的测量。
  由于该仪器采用尖点触头，可直接测量设计图要求的坐标点
位置，直观、方便。需要指出的是，按《形位公差》标准规定，
线轮廓度误差值与点的坐标误差值不等，只在特殊情况下才相等。
  当测头沿着型面各点切线的法线方向测量时，由于叶型本身
不平坦，尤其在进气、排气边缘部位，其曲率与中间部位差别很
大，测头方向在不断地改变。又由于在不同的测量方向上给予相
同的测力(调整百分表到固定的示值)，而读数值全是在y轴方
向读出，因此就存在着测力误差。曲率变化愈大，其测量误差愈
大

  粗糙度测量，电针描式系统，粗糙度标准块，表面轮廓，扫描
电子显微镜的表面在粗糙度测量领域内的研究和发展工作的目的是
，提高对粗糙度测量仪器测量不可靠性的认识水平及探索其改进的
可能性，用深度校正标准发起人和粗糙度标准块来检验和调整不同
厂商制造的电针描式仪器，会使它们的散发大大减小，测量不可靠
性也来自表面上存在的波形谱， 研究粗糙度标准块导出了其它测
量条件，即触针的静态和动态特性，针尖的曲率半径、基面及数字
化时的步距。

  用扫描电子显微镜获得的被研究表面的信息远远大于电针描式仪
器的分辨能力，在研究工作中成功地测出了扫描电子显微镜立体图
，因而把一个纯粹是观察用的扫描电镜改进成一个具有高分辨能力
的测量仪器。

  微观形状和表面特性和实际意义对工程师们来说比人们一般所想
像的要大得多，举几个例子，我回忆到，交变强度，液体或气体中
间层的两个固体间的摩擦，对粗糙度壁面的流线，各种波长光线的
反射，表面本身的热辐射，从壁面到静止或运动的液体或气体的传
导和对流的转变等等，这些过程都或多或少与表面的微观形状有关

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