激光光电显微镜在测量中的优点是可不接触工件

激光光电显微镜在测量中的优点是可不接触工件

在利用直径两边缘绕射象之间的间隔测量直径的测量装
置中，必须有驱动部分及显象部分。驱动部分的作用是使测量
绕射象的光学系统的二光轴间隔始终等于被测工件的公称尺
寸。而显象部分的作用是把两个绕射象各放大20倍，再把经
过放大的象，用光导纤维柬在圆周上等间隔地呈环状排列，制
成转子。匀速地转动转子，用光电法检测环状纤维端部的明
暗位置，这样就可以通过求回转位置来求出绕射象的直线距
离。

用激光光点检测位置

  用激光光点检测位置的方法称光触针法。它是用光点代
替与被测件接触的触针尖。此方法的优点是不接触工件就可
以进行测量，这是因为使用了聚光性好、亮度大的激光。所
以，光触针法在坐标测量中具有很高的使用价值。

  用一般透镜把激光聚集成象，称为聚焦型激光显微镜，测
量对象主要是物体的位置和形状。此处介绍其中一部分，其
余部分在光电显微镜中介绍。

  根据被测量位置上入射光束和反射光束的关系，把光点
检测位置分为两类:一类是入射光轴和反射光轴同轴，另一类
是两光轴有一定倾角。

由于激光光点位于被测面之前或之后，两输出的差就变
为正或负，测量系统根据伺服系统的移动进行测量．
  由于光电管排列的数量多，即使被测面处于激光点位
置的最外侧也能定出被测面的大体位置。定位稳定性为
±0．02mm。用硅光电池可以清晰地测出漫反射光，这是因为
激光有很高的亮度和聚光性。

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