合适用于测量表面粗糙度的显微镜有哪些特点

合适用于测量表面粗糙度的显微镜有哪些特点

  定性的仪器光学显微镜和扫描电镜是极其灵敏的实用的检验
表面的仪器，虽然两者都不特别适应于粗糙度的定量测量。

  干涉显微镜——差分干涉显微镜提供了高分辨率观测表面粗
糙度微小细节的一种杰出的方法，在实践中，把表面的两个影像
错开一个比显微镜分辨率还小的距离，使干涉相消（破坏了干涉
对比度），它只是在照明象附近区域的高度方向有一个差别。

  然而系统十分灵敏，在正确调整后，由于对比度好，可看到
表面丰富的显微细节。仪器的基本元件的偏振光分成两束相干光，
在试样上错开约1um ，大约与显微镜物镜的分辨率相等。从试样
上反射后，光束在沃拉斯顿棱镜复合，然后再穿过第二个起偏器，
这个起偏器和前一个起偏器正交。

  如果两束光的光程差为零，于是出现一个黑的视野，在试样
的斜坡面上的光线稍有位移就会在返回路程的光学系统中走过一
个不相等的路程，因此视场为一片黑的背景，而在有倾斜特征的
地方，在暗背景上出现亮光，在使用白光情况下，人的眼睛能高
度灵敏度分辨颜色的变化可看见图象的差异，差分干涉对比技术
主要受不能定量评定的局限性，

  然而对于有经验的观察者，这种仪器将成为观察图像的详细
信息以及彩色图谱的极其灵敏的有效工具。

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