用于电子工业上测量零件镀层厚度用工具显微镜

半导体零件测量

  干涉显微镜用于电子工业上，主要是测量镀层厚度，即高
度测量，所以测量方法和前类同。

  当干涉显微镜用于测量微小角度时，仪器的孔径光栏可
以开得小一些。

等黑度法测量表面光洁度

  用干涉方法测量表面光洁度，往往采用目估方法。其原
因之一是测量高表面光洁度(如▽13,▽14)时，千涉条纹弯曲
量仅为条纹宽度的1/3和1/6，用目镜十字线来对准条纹微
小弯曲很困难，给测量带来很大误差，故一般采用目视估计
法，此方法也能得到一定的精度。如果一定要对高光洁度表
面进行精确测量，则可采用等黑度法。

  等黑度方法比较麻烦，但可作精确测定，同时可以增加判
别干涉图形的经验;例如哪种干涉图形属于▽14光洁度等，
以提高目视估计的可靠性。

光度计直接测量底片上各点的黑度，将黑度相同点连成等黑
线。用这种方法需要光度计，工作量较大。为此，可采用由底
片经过处理来得到等黑度线。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制,转载须注明网址http://www.sgaaa.com)