测量显微镜应用阿贝原理设计

运动部分

  移动被测零件的十字运动工作台的移动范围，左右为150毫
米，前后为50毫米，对这种运动的导向机构采用的(x一y)方向
复合运动的导向机构。

另外，十字运动工作台上设置被测零件的定位装旦和为测量角度
而用的旋转台。

对这种旋转运动的机构，阐述的Y方向旋转运动导向机构，以提高
举动的精度。其次，为了能够测量高度大的被测零件，

使比较显微镜较之过去(100^-150毫米)上下方向移动范围要大些
(170毫米).此时，在高出工作台的导轨表面的较高平面内进行测量，

因为由于不能满足阿贝原理而产生误差，这就需要比过去更加提高
导轨表面的精度。因之，以工作台台面作为基准位置，
此位置的尺寸测量精度应设计在±2微米以内。

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