镀覆层表面形貌和显微结构分析多功能金相显微镜

镀覆层表面形貌和显微结构分析多功能金相显微镜

  对镀覆层表面形貌和显微组织分析的主要工具是各种显微镜，其中低倍分析多
用光学显微镜，精细分析常用的是扫描电子显微镜和透射电子显微镜。

显微镜的类型与主要功能

  不论显微镜的激发源和类型如何，它们的工作原理是大致相同的。以一定的方
式将激发源照射到被侧样品上，与样品相互作用产生了反射光、透射光、透射电
子、二次电子、二次离子等，对它们处理后再进行放大，成像并投射到目镜或显示
屏上，就可以观察、分析镀覆层的表面形貌和显微组织了。

透射电镜的工作原理

  高速电子束经过聚光镜聚焦后平行射向并穿透样品，被散射的电子束经物镜、
中间镜和投影镜三级放大后，在显示屏上成像。当中间镜物平面与物镜像平面重合
时观察到的是显微图像(图中最终像面上的实线)，而当中间镜物平面与物镜后焦
面重合时观察到的是电子衍射谱(图中最终像面上的虚线)。为了控制电子束的人
射孔径角，在物镜后焦面处装有物镜光栏，以获得最佳的像衬度和分辨率。

  衬度是指电子束在显示屏上成像时表现出的强度大小，透射电子显微镜的衬度
包括振幅衬度、衍射衬度和质量厚度衬度等。一般来说，物质的厚度和密度越大，
物质中原子序数越高，对电子的散射角度越大。因此，穿透样品上厚度和密度较
大、原子散射能力强区域的电子数目要少于其他区域，在显示屏上的亮度较小，是
成像平面上的暗区域。所以，透射电子显微镜所用的样品必须加工得很薄，样品制
备较为复杂、难度较大。

不过，对于可剥离的镀提层来说，经过减薄后可直接进行观察和分析。

(本文由上海光学仪器厂编辑整理提供, 未经允许禁止复制,转载须注明网址http://www.sgaaa.com)