微纳几何量指微纳器件结构的几何尺寸

微纳几何量指微纳器件结构的几何尺寸-金相显微镜应用

  微纳几何量是指微纳器件结构的几何尺寸，如微梁结构的长、宽、厚度，
微结构台阶的高度等特征几何尺寸。微纳几何量测试就是针对微纳器件的
几何尺寸和几何形貌的精密测试。

常见的微纳几何量测试技术主要有显微视觉测试技术、接触式三维形貌
测试技术、非接触式三维形貌测试技术、微纳三坐标测试技术以及薄膜
厚度测试技术等。

  图像微纳结构完整性检测与分析主窗口和检测结果。通过这种
方法可以实现微纳几何图形的完整性检测与分析，从而实现微纳制
造过程中加工工艺与器件结构的在线快速检查。

微纳平面动态特性测最面板

电容式MEMS加速度计进行平面振动测量，驱动信号为电压幅度1.5V，偏置电压
1V的正弦波，经20倍增益的高压运算放大器放大后加载到谐振器上(实际驱动电
压峰峰值为30V，偏置电压为20V),频率扫描的起始频率为0Hz，截至频率为
200Hz，频率扫描间隔为1 Hz，采用运动模糊图像检侧技术，结合频率扫描方法，
得到不同驱动频率下MEMS加速度计平面振动的幅频特性曲线。

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