扫描延伸电阻显微镜简介

扫描延伸电阻显微镜简介-上海光学仪器一厂

扫描延伸电阻显微镜（Scanning Spreading Resistance Microscope：SSRM）是扫描探针显微技术代表性仪器之一，
扫描延伸电阻显微仪可对映出样品表面隐含的电导率或电阻率的二维分佈对比影像，且有极佳的空閒解析(奈米尺度，约15nm)，

常运用在半导体产业对映出半导体内的载子浓度分佈。SSRM的工作机制，系在导电探针与样品间施以一可调节的直流电压，

并撷取出流经样品的电流及流经参考电阻的电流，经由对数运算即可求得RSR，对应出试片表面电导率或电阻率的二维分佈对比影像。