光学元件超显微硬度测试技术的应用

光学元件超显微硬度测试技术的应用-膜厚度测量

  超显微硬度测试对评价光学膜薄的材料特性如硬度和断裂强度
具有实用价值的仪器。由于测试结果在很大程度上取决于所选择
的实验参数，用微处理机使这种测试仪自动化，用以控制负载增
大速率，负载时间以及调节刻划器等，已证明有效，这种超显微
硬度的结果取决于穿透隙薄朦膜厚度的比例，即一定不可超过0.
2，以免影响基底的硬度。

  如刻蚀不清晰，则对超显微硬度的解释较难，使用维克斯公司
的刻划器对在软的塑料基底上镀有硬的膜，常可能产生这种不清
晰的情况，对这种试样，似乎使用诺柏公司的刻划器较有益处，
能打出更清晰的刻痕。

  一般说来，大多数红外涂层材料稍软于可见光波长的介质涂层
材料，当清洗这些表面时，必须注意以防止损伤，而本实验的结
果表明，一次清洗所引起的划痕是不多的，或者不影响其性能，
当一个新的光学元件装入系统中时，必须用干净的干燥氮气，或
过滤过的，无碳氢化合物的压缩空气喷吹，以却灰尘，用过的光
学元件常常需要作更多的物理情况。

  相平辐射公司光学分部制作的全反射镜是使用有保护膜的银膜
，或者是增加反射率的银膜，有保护的银膜是这二种最软件 一
种，清洁技术建议用“滴及拖”法，这是以一或二滴适当的溶剂
，如试剂级的丙酮或甲醇，滴在清洁的擦镜纸上，并且沿着一定
方向“拖擦”其下面的光学元件，这种膜层，如果在清洁时压得
重些，将很容易擦伤。

  增加反射率的银膜，外面一层为硫化锌，它是很耐用的，内高
腔反射镜用这种膜层反射率大于99.5%，它们经得起溶剂，柔软
的擦镜纸以及中等的手的压力反复清洁，部分反射镜以及增透膜
，均有硬的介质膜层，它们可以用类似的方法清洗。

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